Tarče za razprševanje iz zlitin niklja-kobalta-železa vsebujejo določene deleže niklja (Ni), kobalta (Co) in železa (Fe). Te zlitine se izdelujejo v ravninske ali rotacijske tarče za razprševanje in se uporabljajo v industriji polprevodnikov, fotovoltaike, natančne optike in funkcijskih premazov. Priprava teh zlitin je specifična in zahteva pozornost do detajlov, da bi dosegli enakomerno kemično sestavo, gostoto trdnega -agregatnega stanja, enakomerno granulacijo in kakovost površin.
Metoda priprave tarč za razprševanje iz niklja-kobalta-železove zlitine
Taljenje surovin: bloki niklja, kobalta in železa visoke čistosti so sorazmerni in postavljeni v vakuumsko indukcijsko talilno peč. Materiali se segrevajo v vakuumu, dokler niso vsi popolnoma staljeni, in mešamo, da preprečimo segregacijo sestave.
Ulivanje in oblikovanje: Staljeno zlitino niklja in kobalta se vlije v grafitni kalup in pogasi, da se pridobi zlitina in prepreči nastanek grobih zrn.
Kovanje in valjanje: zlitine so podvržene visoko{0}}temperaturnemu kovanju in vročemu valjanju, da se poruši struktura ulitka.
Strojna obdelava in lepljenje: material iz zlitine niklja-kobalta-železa je-razrezan v obliko in sintetiziran.
Uporaba tarč za razprševanje iz niklja-kobalta-železove zlitine
Integrirana vezja, kjer se uporablja za bakrene difuzijske pregradne plasti, dvoslojne elektrode Ta/CoFe in proste plasti magnetnih tunelskih spojin (MTJ).
Tanko{0}}plastne sončne celice, kjer služi kot zadnja elektroda ali vmesni sloj za izboljšanje ohmičnega stika in odpornosti proti vremenskim vplivom.
MEMS in senzorji, kjer se uporablja pri izdelavi induktorjev z nizkimi-izgubami, magnetnih zaščitnih plasti in mikro-magnetnih aktuatorjev.
Površinski funkcionalni premazi, kjer se uporablja kot-odporen proti obrabi,-koroziji in okrasni premaz za avtomobilske dele, pritrdilne elemente za letalstvo in biomedicinske vsadke.
