Tarče za razprševanje lahko glede na njihove oblike razdelimo na ravninske tarče in vrtljive tarče. Planarne tarče so dolge tarče, kvadratne tarče ali okrogle tarče z določeno debelino ipd., ki so izdelane z vezavo surovca tarče in podložne plošče. Med naprševanjem sta surovec tarče in substrat vzporedna drug z drugim, med surovcem tarče in substratom pa nastane elektromagnetno polje. Vrtljive tarče so cevaste tarče, med naprševanjem pa se proti substratu oblikuje elektromagnetno polje. Planarne tarče so bolj vsestranske, vendar imajo nižjo stopnjo izkoriščenosti; vrtljive tarče imajo višjo stopnjo izkoristka, vendar slabo enakomernost prevleke.
Prednosti vrtljivih tarč
1. Rotirajoče tarče imajo večji izkoristek materiala
Vrtljive tarče lahko enakomerno porabijo površino tarče med vrtenjem, s čimer se izboljša izkoristek materiala tarče, ki lahko običajno doseže 70%-90%. Ker pa je pri brizganju vključena samo ena fiksna stran ravninske tarče, bodo med uporabo nastali "žlebovi" ali "jame", kar bo povzročilo neenakomerno porabo materiala, stopnja izkoriščenosti materiala pa je na splošno 30%-40%. Za drage tarče (kot so plemenite kovine ali redkozemeljski materiali) lahko vrtljive tarče znatno zmanjšajo stroške in izboljšajo gospodarske koristi.
2. Vrtljive tarče imajo boljšo enakomernost razprševanja
Vrtljive tarče se med delovanjem neprekinjeno vrtijo, tako da je vsak položaj na površini tarče enakomerno izpostavljen plazmi, kar tvori enakomernejšo hitrost razprševanja. To ima očitne prednosti za aplikacije z visokimi zahtevami glede enotnosti filma (kot so zasloni in polprevodniški procesi). Planarne tarče so nagnjene k neenakomerni debelini filma zaradi lokalnega prekomernega-naprševanja, zlasti pri-podlagah z velikimi{3}}površinami ali neprekinjeni proizvodnji.
3. Rotirajoče tarče imajo daljšo življenjsko dobo
Ker rotacijske tarče porabijo več enakomernega materiala, je njihova življenjska doba običajno daljša kot pri ravnih tarčah. To pomeni, da je pri enakih delovnih pogojih pogostost zamenjave vrteče se tarče nižja, kar zmanjša čas izpada opreme in izboljša učinkovitost proizvodnje. Pri nekaterih neprekinjenih proizvodnih procesih, kot je premazovanje velikih-površin in premazovanje-na-valj, lahko vrtljiva tarča znatno podaljša proizvodni cikel in zmanjša stroške vzdrževanja.
4. Rotirajoče tarče imajo višjo kakovost filma
Plast filma, ki ga naprši vrteča se tarča, je gostejša in bolj enakomerna, kar je primerno za nekatere aplikacije z izjemno visokimi zahtevami glede kakovosti filma (kot so-proizvodnja elektronskih naprav višjega cenovnega razreda in polprevodniških naprav). To je zato, ker lahko vrtljiva tarča učinkovito zmanjša napake, ki jih povzroči neenakomerno naprševanje na površini tarče, in izboljša kakovost in konsistenco plasti filma.
Zaključek
V primerjavi z ravnimi tarčami imajo rotacijske tarče večji izkoristek materiala, daljšo življenjsko dobo, enakomernejši učinek razprševanja ter prilagodljivost na veliko-območje in veliko-serijsko proizvodnjo. Zaradi tega so rotacijske tarče pomembna izbira na področju sodobnega nanašanja tankega filma, zlasti pri-površinskem premazovanju, neprekinjeni proizvodnji in-proizvodnji elektronskih naprav višjega cenovnega razreda.